APA Style

MEIRIYANA, WANTI. (2005). Pengaruh temperatur substrat terhadap penumbuhan lapisan tipis silikon germanium amorf terhidrogenasi (a:SIGe:H) dengan menggunakan metode PECVD (1). Banda Aceh: Fak. Mipa Unsyiah.

Chicago Style

MEIRIYANA, WANTI. Pengaruh temperatur substrat terhadap penumbuhan lapisan tipis silikon germanium amorf terhidrogenasi (a:SIGe:H) dengan menggunakan metode PECVD. 1 Banda Aceh: Fak. Mipa Unsyiah, 2005. SKR.

MLA Style

MEIRIYANA, WANTI. Pengaruh temperatur substrat terhadap penumbuhan lapisan tipis silikon germanium amorf terhidrogenasi (a:SIGe:H) dengan menggunakan metode PECVD. 1 Banda Aceh: Fak. Mipa Unsyiah, 2005. SKR.

Turabian Style

MEIRIYANA, WANTI. Pengaruh temperatur substrat terhadap penumbuhan lapisan tipis silikon germanium amorf terhidrogenasi (a:SIGe:H) dengan menggunakan metode PECVD. 1 Banda Aceh: Fak. Mipa Unsyiah, 2005. SKR.